Pourquoi les plaquettes épitaxiales SiC ont-ils des défauts de Pit?
published on 12 Aug 2024
Le carbure de silicium (SiC) est un matériau semi-conducteur crucial à large bande, largement utilisé dans les appareils électroniques à haute température, à haute fréquence et à haute puissance. Cependant, lors de la production dePlaquettes épitaxiales SiC, la présence de défaut...
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