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Exploration des matériaux semi-conducteurs de nouvelle génération: substrats d’oxyde de Gallium

Avis du comité économique et social, le 15 octobre. Favorable. 20 Aug 2024

À mesure que la technologie progresse rapidement, les exigences en matière de performance des matériaux électroniques ne cessent de croître, et les matériaux traditionnels à base de silicium sont peu à peu en deçà des besoins des applications émergentes. Dans ce contexte, l’oxyde de gallium (Ga₂O₃) a attiré l’attention dans la recherche et l’industrie en tant que matériau semi-conducteur à large bande passante, grâce à ses propriétés exceptionnelles.


Propriétés fondamentales de l’oxyde de Gallium


L’oxyde de Gallium (Ga₂O₃, n ° CAS 12024-21-4) est un matériau fonctionnel polyvalent avec cinq phases cristallographiques différentes: α, β, γ, δ et ε. Parmi celles-ci, β-Ga₂O₃ est la phase la plus stable, cristallisant dans le système monoclinique avec les constantes de grille a=12.12 lires, b=3.03 lires, et c=5.80 lires, et appartient au groupe de symétrie C2/m. En raison de sa stabilité et de ses caractéristiques matérielles supérieures, β-Ga₂O₃ est la phase de l’oxyde de gallium la plus étudiée et appliquée.


L’oxyde de Gallium possède un large entrefer d’environ 4,8 eV, ce qui lui permet de fonctionner efficacement dans des conditions de haute tension et de haute température. D’une densité de 5,88 g/cm³, Ga₂O₃ est insoluble dans l’eau mais soluble dans des solutions d’hydroxyde de métal acide et alcalin. Son champ de panne élevé et son excellente mobilité électronique le rendent très prometteur pour les applications de dispositifs de puissance à haute tension.


Caractéristiques physiques uniques


L’oxyde de Gallium présente plusieurs propriétés physiques uniques qui le distinguent dans le domaine des semi-conducteurs. Théoriquement, Ga₂O₃ a une mobilité d’électrons allant jusqu’à 300 cm²/Vs, une tension de panne allant jusqu’à 8 MV/cm et une constante diélectrique statique de 10. Ces propriétés suggèrent que Ga₂O₃ peut résister à des tensions élevées et fournir une efficacité plus élevée dans des conditions de puissance élevée.


Cependant, Ga₂O₃ a une conductivité thermique relativement faible à température ambiante, avec des valeurs anisotropes atteignant un maximum de seulement 0,27 W/ cm k. De plus, son coefficient de dilatation thermique est de 3.37 10⁻⁶ K⁻¹, et il a un point de fusion de 1900 °C. Ces propriétés thermodynamiques indiquent que Ga₂O₃ maintient une grande stabilité dans des conditions de haute température, ce qui le rend adapté aux appareils électroniques fonctionnant dans des environnements extrêmes.

Gallium Oxide Substrates


Large potentiel d’application


En raison de ses excellentes propriétés matérielles, l’oxyde de gallium a été largement appliqué dans divers domaines de haute technologie. En tant que matériau fonctionnel critique, Ga₂O₃ est utilisé non seulement dans les phosphores ou les matériaux luminescents, mais joue également un rôle dans la catalyse. De plus, Ga₂O₃ peut servir de barrière isolante à semi-conducteur, ce qui le rend adapté aux capteurs de gaz, aux cellules solaires, aux photodétecteurs et aux dispositifs d’alimentation.


Dans les domaines de l’électronique de puissance et de la détection solaire, Ga₂O₃ présente un potentiel énorme. Par exemple, son champ de panne élevé permet aux dispositifs d’alimentation à base de Ga₂O₃ de fonctionner à des tensions plus élevées tout en conservant des tailles d’appareils plus petites et une efficacité énergétique plus élevée. Cela fait de Ga₂O₃ un candidat clé pour les dispositifs d’alimentation haute tension tels que les interrupteurs efficaces et les redresseurs.


Développement et Fabrication de substrats d’oxyde de Gallium


Actuellement, les substrats d’oxyde de gallium peuvent être cultivés à l’aide de diverses méthodes, y compris la croissance fondante (méthode Czochralski), l’épitaxie en phase liquide (LPE) et le dépôt chimique en vapeur (CVD). Ces techniques ont permis aux tailles de plaquettes Ga₂O₃ d’atteindre des diamètres de 2, 4 et même 6 pouces, posant une base solide pour son application dans les circuits intégrés à grande échelle.


Par rapport à d’autres matériaux semi-conducteurs à large bande magnétique tels que le nitrure de gallium (GaN) et le carbure de silicium (SiC), les substrats de Ga₂O₃ sont relativement plus faciles à fabriquer et à moindre coût. En conséquence, Ga₂O₃ est considéré comme un matériau de base essentiel pour les dispositifs semi-conducteurs à large bande de nouvelle génération, avec un potentiel d’application généralisée dans divers domaines.


Conclusion Conclusion


L’oxyde de Gallium (Ga₂O₃) émerge rapidement comme un matériau vital dans les secteurs de l’électronique de puissance et de l’optoélectronique en raison de son large espace de bande passante exceptionnel, de son champ de rupture élevé, de son excellente mobilité électronique et de sa stabilité thermique. Alors que les technologies de fabrication de substrats continuent d’évoluer, Ga₂O₃ est sur le point de jouer un rôle de plus en plus important dans les futurs appareils électroniques à haute performance, fournissant un support robuste pour le progrès technologique et la modernisation industrielle.


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