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Substrat saphir à motifs (PSS)

Informations spécifiques
L’épicouche de GaN cultivée sur PSS produit des défauts latéraux épitaxiaux et moins interstitiels entre les substrats de GaN et de saphir. De plus, les paramètres de la grille de PSS sont mieux adaptés au GaN et la croissance épitaxiale du GaN sur PSS génère moins de densités de dislocations et d’inadéquation de l’indice de réfraction, améliorant ainsi la qualité de l’épitaxie.
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  • spécification
  • propriétés
  • Article:Substrat de saphir à motifs (2~6inch)
    diamètre50,8 ± 0,1 millimètre100,0 ± 0,2 mm150,0 ± 0,3 mm
    epaisseur430 ± 25μm650 ± 25μm1000 ± 25μm
    Orientation de SurfacePlan c (0001) hors angle vers l’axe m (10-10) 0,2 ± 0,1 °
    Plan c (0001) hors angle vers l’axe a (11-20) 0 ± 0.1° c
    Orientation plate primaireA-plan (11-20) ± 1,0 °
    Longueur plate primaire16,0 ± 1,0 millimètre30,0 ± 1,0 millimètre47,5 ± 2,0 millimètres
    Plan r9-o et#39; horloge
    Finition de Surface avantÀ motifs
    Finition de Surface arrièreSSP: terre fine,Ra=0.8-1.2um; DSP: épi-poli,Ra<0.3nm
    Marque LaserCôté arrière
    Le TTV≤8μm≤10μm≤20μm
    arc≤10μm≤15μm≤25μm
    La chaîne≤12μm≤20μm≤30μm
    Exclusion de bord≤2 millimètres
    Spécification de modèleForme StructureDôme, cône, pyramide
    Hauteur du motif1.6~1.8μm
    Diamètre de motif2,75 ~ 2,85μm
    Espace de motif0.1~0.3μm


    Spécifications de personnalisation:

    * substrat de saphir à motifs nanométriques (NPSS).

    * saphir PSS de différentes orientations.


  • Substratsaphirmotifs(PSS)voiraussi:voiraussi: Estunprocessusdefabricationd’unmicroemonemonemonemon emon emon emon Pour en savoir plus, veuillez consulter le site web suivant. Comme demon, emon Ou de forme pyramidale Sur le substrat de saphir. Aux sur substrats de saphir Peut emon emon emon emon emon emon emon emon emon Orçorçage: orçorçage: orçorçage. 


    Structure cristallinehexagonale
    Constante de grille (nm)A = 4.76[unused_word0004] C = 12.99[unused_word0006]
    ⊑ (g/cm)3)Taux de croissance
    Point de fusion (℃)2040
    Mohs (Mohs)9
    Constante di[unused_word0006]9,3 (avion A) 11,5 (avion C)
    Conductior de chaleur (W/cm.K)Taux de croissance de 0,46
    Expansion thermique 6,7 *106 -6 -6 -6/k(plan C)             5,0 *10-6/k(un avion)
    Indice de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa 1.762-1.777
    Transmission  d’essai: saphir :D76.2*4mm
    UV:200~380nm 74%~84%
    ⊑ Visible :380~760nm 85% de la population 
    Infrarouge :760~1000nm     85% de la population
    Lointain d’infrarouge :>1000nm   80%~100%


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