Les substrats de saphir de 8 pouces jouent un rôle crucial dans la fabrication d’appareils électroniques et optoélectroniques modernes. Avec leur excellente conductivité thermique, résistance mécanique, et résistance chimique, ils sont très utilisés dans des domaines tels que les led, les lasers, et les dispositifs de RF. Cet article explorera les applications et les avantages spécifiques des substrats de saphir de 8 pouces dans les microled, les dispositifs HEMTs et les plaquettes porteuses, en soulignant leurs contributions significatives à l’amélioration des performances des dispositifs et de l’efficacité de la production.

Importance de la Surface saphir CMP de haute qualité

La réalisation d’une surface saphir CMP (polissage mécanique chimique) de haute qualité est essentielle pour diverses applications. Notre société utilise des instruments d’inspection de haute précision et des années de développement de processus CMP pour obtenir des surfaces de saphir de meilleure qualité, en abordant les problèmes potentiels dans diverses applications, et en améliorant le rendement et l’efficacité de production.

1. Micro LED bleu-vert

Les substrats de saphir jouent un rôle clé dans la technologie Micro LED, servant principalement de base de croissance pour la couche électroluminescente LED. Le choix des substrats de saphir est basé sur les exigences spécifiques de l’équipement et des dispositifs LED. En tant que l’un des matériaux préférés pour la fabrication de puces LED, les substrats de saphir sont cruciaux dans la fabrication de Micro LED. Grâce à des procédés semi-conducteurs tels que la croissance épitaxiale, la gravure, le dépôt et l’évaporation de métal sur le substrat de saphir, la structure de puce Micro LED est finalement formée et envoyée sous forme de plaquette.

Surface de haute qualité: les abrasifs utilisés dans le CMP peuvent causer de minuscules rayures sur la Surface du substrat de saphir qui sont difficiles à observer. En utilisant notre équipement d’inspection de surface E1000, ces rayures peuvent être clairement visibles, correspondant à la précision de l’équipement d’inspection Candela 8720. Ces micro-rayures sur le substrat de saphir peuvent affecter la croissance épitaxiale et rendre le rendement incontrôlable (comme le montre la Figure 1). 

En optimisant continuellement les abrasifs CMP et les processus de polissage grâce à un équipement d’inspection haut de gamme, nous pouvons minimiser ces micro-rayures sur la surface du saphir, en assurant la qualité de la surface du substrat et en améliorant le rendement du processus (comme le montre la Figure 2).

2. Dispositifs HEMTs à base de saphir

Les Transistors à mobilité électronique élevée (hemt) sont des dispositifs électroniques clés largement utilisés dans les champs à haute fréquence et à haute puissance tels que les systèmes de communication, les radars et les satellites. Le substrat de saphir de 8 pouces présente des avantages significatifs d’application dans les dispositifs HEMTs:

Excellente isolation: le saphir possède d’excellentes propriétés d’isolation électrique, ce qui est particulièrement important pour les appareils HEMTs fonctionnant dans des environnements à haute fréquence. Il réduit effectivement le courant de fuite, augmentant la stabilité et la fiabilité de dispositif.

Stabilité à haute température: Sapphire maintient la stabilité dans les processus et les environnements à haute température, ce qui est crucial pour la fabrication et le fonctionnement des dispositifs HEMTs, assurant leur performance et leur durée de vie.

Optimisation dela qualité de Surface: en utilisant des équipements d’inspection haut de gamme comme E1000 et Candela 8720, les micro-rayures sur la Surface du substrat de saphir peuvent être clairement identifiées et éliminées. Après optimisation du procédé CMP, la qualité de surface du substrat de saphir est considérablement améliorée, améliorant ainsi la qualité de la croissance épitaxiale et le rendement du procédé.

3. Saphir Carrier Wafer

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les substrats de saphir sont largement utilisés comme plaquettes de support, fournissant principalement un support et une protection. Les applications spécifiques des substrats de saphir de 8 pouces dans les plaquettes de support comprennent:

Support et Protection: lors de la manipulation de matériaux semi-conducteurs minces et fragiles, les plaquettes porteuses de saphir fournissent le soutien et la Protection nécessaires, empêchant le substrat de se fissure ou d’endommager pendant le traitement.

Stabilité thermique: la stabilité thermique du matériel de saphir assure qu’il maintient la stabilité de forme et de taille dans les processus à haute température, empêchant la déformation thermique d’affecter les dispositifs de semi-conducteur.

Conclusion Conclusion

L’application de substrats de saphir de 8 pouces dans des microled, des dispositifs HEMTs et des plaquettes porteuses démontre pleinement leur résistance mécanique, leur surface de haute qualité et leur stabilité thermique. À travers notre société&#Les substrats de saphir peuvent fournir une plate-forme de support plus fiable pour la fabrication de semi-conducteurs et d’appareils électroniques, assurant une croissance épitaxiale efficace et de haute qualité et les processus subséquents. Dans ces domaines de haute technologie, les substrats de saphir sont indispensables, fournissant une base solide pour le développement de la technologie électronique moderne.

Liens de produits connexes

Saphir substrat Wafer