Article: | 4H n-type SiC substrat (2~8inch) | ||||
diamètre | 50,8 ± 0,3 mm | 76,2 ± 0,3 mm | 100.0±0.3mm | 150.0±0.5mm | 200.0±0.5mm |
epaisseur | 350±25μm | 350±25μm | 350±25μm | 350±25μm | 500±25μm |
Orientation de Surface | Hors axe :4° vers <11-20>±0.5° | ||||
Orientation plate primaire | Parallèle à <11-20>±1° | <1-100>±1° | |||
Longueur plate primaire | 16,0 ± 1,5 mm | 22.0±1.5mm | 32.5±2.0mm | 47.5±2.0mm | encoche |
Orientation plate secondaire | Silicone face vers le haut: 90° CW. De plat primaire ±5.0° | N/ d | N/ d | ||
Longueur plate secondaire | 8,0 ± 1,5 mm | 11,0 ± 1,5 mm | 18,0 ± 2,0 mm | N/ d | N/ d |
résistivité | 0.014~ 0.028ω •cm | ||||
Finition de Surface avant | Si-Face: CMP, Ra<0.5nm | ||||
Finition de Surface arrière | C-Face: polissage optique, Ra<1.0nm | ||||
Marque Laser | Face arrière: C-Face | ||||
Le TTV | ≤10μm | ≤15μm | ≤15μm | ≤15μm | ≤20μm |
arc | ≤25μm | ≤25μm | ≤30μm | ≤40μm | ≤60μm |
La chaîne | ≤30μm | ≤35μm | ≤40μm | ≤60μm | ≤80μm |
Exclusion de bord | ≤3 millimètres |
Spécifications de personnalisation:
* diverses tailles et formes telles que 10*10mm
* diverses épaisseurs :0.1~20mm
* diverses orientations telles que hors axe :8° vers <11-20>±0.5°
* diverses rugosités de surface telles que le tranchage, le rodage, le polissage.
* des lingots de cristal de carbure de silicium sont disponibles.
Les substrats en carbure de silicium (SiC) voir aussi: voir aussi: sont les matériaux semi-conducteurs de troisième génération et appartiennent à des semi-conducteurs à large bande. Le carbure de silicium (SiC) est un matériau semi-conducteur ariane du groupe IV-IV ariane par des ariane C et Si dans un rapport de 1:1 Et ninguës ninguës ninguës Résistance à hautes températures, champ électrique critique élevé de panne, taux élevé de migration de saturation d’électrons et conductivité thermique élevée. Par rapport au silicium Dispositifs de puissance, Dispositifs de carbure de silicium Ningué ra ningué ningué conversion d’ningué emissora emissora emissora de tv En raison de sa haute tension, Accueil/Haute acceptation/Haute Et basse perte. Ce sera l’un des [unused_word0004] les plus basiques et les plus liéres pour la fabrication de puces, de semi-conducteurs, de l’avenir.
Structure cristalline | hexagonale |
Constante de grille (nm) | A = 3.076[unused_word0006] C = 10.053[unused_word0006] |
⊑ (g/cm)3) | 3.21 - le travail |
Point de fusion (℃) | 2830 |
Mohs (Mohs) | 9,2 % de la population |
Constante di[unused_word0006] | Taux de croissance |
De bande (eV) | 3.26 de travail |
Champ emon de panne (MV/cm) | 3.1. - les conditions de travail |
Conductior de chaleur (W/cm.K) | 4.5 4.5 4.5 4.5 4.5 4.5 |
Expansion thermique | 4,7 *106 -6/k |
Indice de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa | 2.6767~2.6480 |