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Plaquette SiC de 2 pouces (Type 6H-P)

Informations spécifiques
Le carbure de silicium de type 6H-P (6H-P SiC) est un matériau de carbure de silicium dope de type p avec une structure cristalline de 6H, caractérisé par un large espace de bande (~ 3,02 eV), une conductivité thermique élevée, et un champ électrique de rupture élevé. Le dopage de type p est généralement obtenu par l’introduction d’aluminium (Al) ou de bore (B), ce qui entraîne la conductivité du trou. Le 6H-SiC présente une mobilité de porteuse plus élevée que le 4H-SiC, ce qui le rend avantageux pour certaines applications électroniques et RF de haute puissance. Cependant, en raison de sa forte anisotropie, il est moins couramment utilisé dans les applications de dispositifs de puissance par rapport au 4H-SiC.
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  • spécification
  • propriétés
  • Article:6H-P type substrat SiC (2~6inch)
    diamètre50,8 ± 0,3 mm100.0±0.3mm150.0±0.5mm
    epaisseur350±25μm350±25μm350±25μm
    Orientation de SurfaceHors axe :2°-4° vers <11-20>±0.5°
    Orientation plate primaireParallèle à <10-10>±5°
    Longueur plate primaire16,0 ± 1,5 mm32.5±2.0mm32.5±2.0mm
    Orientation plate secondaireSilicone face vers le haut: 90° CW. De plat primaire ±5.0°
    Longueur plate secondaire8,0 ± 1,5 mm18,0 ± 2,0 mm18,0 ± 2,0 mm
    résistivité≤ 0.1ω •cm≤ 0.3ω •cm≤ 0.3ω •cm
    Finition de Surface avantSi-Face: CMP, Ra<0.5nm
    Finition de Surface arrièreC-Face: polissage optique, Ra<1.0nm
    Marque LaserFace arrière: C-Face
    Le TTV≤10μm≤15μm≤15μm
    arc≤25μm≤30μm≤40μm
    La chaîne≤30μm≤40μm≤60μm
    Exclusion de bord≤3 millimètres


    Spécifications de personnalisation:

    * diverses tailles et formes telles que 5*5mm,10*10mm

    * diverses épaisseurs :0.1~20mm

    * diverses rugosités de surface telles que le tranchage, le rodage, le polissage.

    * des lingots de cristal de carbure de silicium sont disponibles.


  • Les substrats en carbure de silicium (SiC) voir aussi: voir aussi: sont les matériaux semi-conducteurs de troisième génération et appartiennent à des semi-conducteurs à large bande. Le carbure de silicium (SiC) est un matériau semi-conducteur ariane du groupe IV-IV ariane par des ariane C et Si dans un rapport de 1:1 Et ninguës ninguës ninguës Résistance à hautes températures, champ électrique critique élevé de panne, taux élevé de migration de saturation d’électrons et conductivité thermique élevée. Par rapport au silicium Dispositifs de puissance, Dispositifs de carbure de silicium Ningué ra ningué ningué conversion d’ningué emissora emissora emissora de tv En raison de sa haute tension, Accueil/Haute acceptation/Haute Et basse perte. Ce sera l’un des [unused_word0004] les plus basiques et les plus liéres pour la fabrication de puces, de semi-conducteurs, de l’avenir.


    Structure cristallinehexagonale
    Constante de grille (nm)A = 3,0 et 3,09-sp C = 15.084[unused_word0006] 
    ⊑ (g/cm)3)3,0 et 3,0
    ⊑ d’empilage ACBABC
    Mohs (Mohs)9,2 % de la population
    Constante di[unused_word0006]Taux de croissance
    De bande (eV)3.02-3.02
    Champ emon de panne (MV/cm)2-5*106
    Conductior de chaleur (W/cm.K)3 emon 5 ans
    Expansion thermique 

    4,3 *106 -6 -6 -6/k

    4,7 *10-6/k

    Indice de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa de tasa 2.612~2.651


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